潔凈棚靜電測試內容主要包含:
1 泄露電阻
2 系統接地裝置電阻
3 容積電阻
4 表層電阻
4 系統電阻
潔凈棚靜電測試" />
GB50591-2010 《潔凈棚工程施工及施工驗收規范》
GB/T25915-2010 《潔凈棚及相應的可控自然環境》
1 泄露電阻
2 系統接地裝置電阻
3 容積電阻
4 表層電阻
4 系統電阻
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GB50591-2010 《潔凈棚工程施工及施工驗收規范》
GB/T25915-2010 《潔凈棚及相應的可控自然環境》
ISO 14644_2006 Cleanrooms and associated controlled environments
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Tags:棚防靜電
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