微電子無塵棚潔凈度等級,微電子無塵棚設計施工.
凈化棚,潔凈棚是一種可提供局部高潔環(huán)境的空氣凈化設備,根據(jù)等級和結構可分為:百級潔凈棚,千級潔凈棚,萬級潔凈棚和可移動式潔凈棚等。潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響,也就是說無論是人或機器隔間,建筑結構等所產生的塵埃隨之移動,擴散受到氣流的支配。
微電子無塵棚參數(shù)標準
1、溫度和濕度。一般來說,冬季氣溫大于16℃±2℃,夏季氣溫低于26℃±2℃;相對濕度為45-65%(RH),必須根據(jù)行業(yè)實際情況設定。
2、新風量。這些數(shù)值可以取較大的值:非單向流潔凈棚總送風量的10-30%;補償室內排風并保持室內正壓值所需的新風量;新風量40m3/h。
3、送風量。不同的車間區(qū)域有不同的送風量。德信致遠小編以300k廠房和2.5m高天花板的項目為例計算:送風量3002.5x20=15000m3/h
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微電子無塵棚潔凈度等級
空氣潔凈度等級(N) 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1000 237 102 35 8
4(十級) 10000 2370 1020 352 83
5(百級) 100000 23700 10200 3520 832 29
6(千級) 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7(萬級) 352000 83200 2930
8(十萬級)3520000 832000 29300
9(一百萬級) 35200000 8320000 293000
國家標準GB50073-2001
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微電子無塵棚ISO 14644 空氣潔凈度等級標準
ISO 14644 根據(jù)懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈棚(區(qū))及相關受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。
根據(jù)粒子徑,可以劃分為常規(guī)粒子(0.1um~5.0um).超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
GB 50073-2013 潔凈棚設計規(guī)范里面的10萬及潔凈棚標準參考,具體如下圖:
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微電子無塵棚設計施工
10萬級潔凈棚要求每立方米空氣中直徑大于等于0.5um的塵粒數(shù)量小于10萬個。溫度一般要求冬季控制在20~22℃,夏季控制在24~26℃,波動不超過2℃。冬季濕度控制在30-50%,夏季控制在50-70%。
因為10萬級潔凈棚可以為大部分產品實現(xiàn)優(yōu)質的生產環(huán)境,所以在技術和資金上也是劃算的。因此,根據(jù)不同的企業(yè)需求,德信致遠一般會選擇四種布局方式進行布局。 :兩端、內、芯和外環(huán)繞。
1.兩端型,即潔凈區(qū)、準潔凈室和輔助室設置在一側。
2.內部配置為外圍設置凈化車間,內部設置走廊。這種設置方式的走廊清潔度非常高,甚至與凈化車間處于同一水平。
3.核心型是以潔凈區(qū)為核心,周圍有各種輔機房和暗管。這種布置不僅可以節(jié)省土地,縮短管道,而且可以避免室外氣候對潔凈區(qū)的影響,降低制冷和制熱的能耗,有利于節(jié)能。
4.外包式可有窗或無窗,也可用于參觀和放置一些設備。德信致遠還將根據(jù)情況在外走廊設置值班暖氣,外窗為雙層密封窗。
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微電子無塵棚防靜電措施設計
對電子工業(yè)的生產車間和高級試驗室、庫房消除靜電來說,均需鋪設防靜電臺墊或導電地墊,當防靜電臺墊(地墊)鋪好并接地后(包括門窗),工作面將泄放人體靜電,使人體與臺面接觸的鑷子、工具、器具、儀表、爆炸物品等達到基本均一的電位,使靜電敏感器件不受摩擦起電等靜電放電現(xiàn)象產生的寬步面帶的干擾,從而達到靜電防護的效果。
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專業(yè)從事無塵棚經營的公司推薦:
武漢得創(chuàng)凈化工程有限公司——清潔室空氣凈化行業(yè)協(xié)會會生企業(yè),潔凈技術專家委員會主任委員單位,電子潔凈技術委員會主任委員企業(yè),公司有著多種發(fā)明專利潛心無塵車間、診室、實驗室凈化處理去濕防靜電工程、通風空調工程、自動化技術控制技術。業(yè)務流程包含電子器件、藥業(yè)、化工廠、食品類、儀器儀表、金屬、光學、處理芯片、半導體材料、鋰電池光伏新能源、航空公司、核電廠等民用型行業(yè)。公司注冊資本3100萬余元,其前身為中航院潔凈技術研究所,創(chuàng)立于1989年9月。公司內設九部一辦,轄16個省份工作部門。很多年來,公司一直堅持“誠實守信贏領將來”的企業(yè)發(fā)展理念和“遵紀守法誠實守信、以以德治國企、創(chuàng)新管理、改革創(chuàng)新”的公司發(fā)展戰(zhàn)略方針,借助機器設備,深厚的工藝能力和充足的作業(yè)工作經驗,潛心電子器件、半導體材料、鋰電池、太陽能發(fā)電、光學、金屬、新能源技術、精密的機器設備、藥業(yè)、化工廠、食品類、航空公司、核電廠等行業(yè)無塵車間、潔凈廠房、診室、實驗室等潔凈室工程、防靜電工程項目、通風空調工程、自動化技術控制技術。20很多年來在國內各地承包完成了數(shù)家潔凈廠房、無塵車間、凈化手術室、實驗室等凈化室凈化工程實例,每個工程項目都以安全性、迅速遭受顧客和世界各國權威專家的一致五星好評。
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