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無塵室
一、基本概念
無塵室（潔凈室）是一個高度控制的環境，旨在減少空氣中粒子、微生物和其他污染物的數量。根據國際標準ISO 14644-1，無塵室的潔凈度等級可以從ISO Class 1到ISO Class 9不等，等級越低，空氣中允許的粒子數量越少。例如，ISO Class 1的標準允許每立方米空氣中僅有10個粒子（粒徑≥0.1微米）。無塵室廣泛應用于半導體制造、制藥、生物技術、航空航天等行業，以確保產品質量和實驗的可靠性。二、工作原理
三、技術參數
潔凈度
潔凈度是無塵室最重要的技術參數之一，通常以ISO等級表示。根據ISO 14644-1，空氣中允許的最大粒子數量如下：
風量
無塵室的風量設計通常以換氣次數每小時（ACH）來衡量，標準無塵室的ACH一般在300到600之間，具體取決于不同的潔凈度要求。例如，ISO Class 5的無塵室，可能需要每小時換氣600次，以確保能夠維持其潔凈度標準。溫度
無塵室的溫度通常保持在20°C至24°C之間，以適應大部分工業應用。在某些特定的應用中，溫度可能需要更嚴格的控制，以確保產品或實驗的穩定性。濕度
濕度控制在30%至60%之間是常見的標準，以防止靜電積聚和產品質量下降。對于某些應用，濕度可能需要進一步精細化控制，例如在制藥行業，通常要求相對濕度低于30%。壓差
為了防止污染物外泄，無塵室通常保持負壓狀態。一般來說，壓差應保持在15Pa至50Pa之間，確保外部空氣不會滲入潔凈環境，從而影響潔凈度。四、用途
無塵室的用途非常廣泛，主要包括以下幾個領域：1. 半導體制造
用于集成電路和電子元件的生產，要求極高的潔凈度以防止缺陷。2. 制藥行業
用于無菌藥品的生產和實驗，確保產品不受微生物污染。3. 生物技術
用于細胞培養和基因工程操作，提供無菌和受控的環境。4. 航空航天
用于航空器和航天器的組件組裝，確保設備在極端環境下的可靠性。五、維護保養
無塵室的維護保養至關重要，以確保其有效性和可靠性。常見的維護措施包括：1. 定期清潔
建議使用專用無塵清潔劑和工具進行清潔，避免使用可能產生顆粒的清潔劑。2. 過濾器更換
根據使用頻率和環境條件，定期檢查和更換HEPA/ULPA過濾器，通常每6到12個月更換一次。
3. 監測系統
定期使用粒子計數器監測空氣潔凈度，以確保達到所需的ISO等級。4. 設備校準**4. **設備校準
確保所有監測和控制設備（如溫濕度計、壓力表等）定期進行校準，以保證數據的準確性。通常建議每年進行一次校準，以滿足ISO 17025標準的要求。5. 培訓與記錄
對無塵室的操作人員進行定期培訓，確保他們了解潔凈室的操作規范和應對突發事件的措施。同時，建立詳細的維護記錄，包括設備的檢查、清潔、過濾器更換和監測結果等，以便于追溯和改進。6. 空氣流動檢查
定期檢查無塵室的氣流模式，確保空氣流動符合設計要求，避免死角和局部污染的發生。采用煙霧測試等方法監測氣流狀況，有助于發現潛在的風道問題。7. 緊急預案
制定應急預案以應對突發事件，如設備故障、污染事件等，確保有明確的處理流程和責任分配，保障無塵室的安全與潔凈。相關標準與規范
在無塵室的設計、建設和運營中，遵循相關標準和規范至關重要。以下是常用的國內外標準與規范列表：| 標準/規范 | 描述 |
|-----------|------|
| ISO 14644-1 | 潔凈室和相關受控環境的潔凈度等級分類 |
| ISO 14644-3 | 監測潔凈室和相關受控環境的程序 |
| GB 50457-2008 | 無塵室設計與施工規范（中國國家標準） |
| GMP (Good Manufacturing Practice) | 藥品生產質量管理規范，適用于制藥行業 |
| IEST-RP-CC012.2 | 顆粒計數器的使用和校準指南 |
| ISO 9001 | 質量管理體系要求，適用于無塵室運營和管理 |
